용도
초순수
주요 특징
반도체, OLED, LCD 등 전기전자 산업에 사용되는 초순수의 중요성은 증대되고 있으며
관련 산업의 발전에 따라 요구되는 초순수의 순도 및 신뢰성은 더욱 엄격해지고 있습니다.
관련 산업의 발전에 따라 요구되는 초순수의 순도 및 신뢰성은 더욱 엄격해지고 있습니다.
TRILITE® 초순수용 이온교환수지는 국내외 반도체, 디스플레이(OLED, LCD)등의
초순수 설비에 납품되어 신뢰의 Reference를 보유하고 있으며
안정적인 품질관리 및 적시 납기로 고객사의 경쟁력 제고에 기여하고 있습니다.
TRILITE® 초순수용 이온교환수지는 요구되는 초순수 품질에 따라 URR100, UPR200, UPR300, UPR400 Series로 구분 됩니다.
- TRILITE® 초순수용 이온교환수지 특징
-
빠른 유속에도 높은 운전교환용량을 구현할 수 있도록 매우 높은 수준의 균일계수(1.1 이하)를 가지고 있습니다.
Ion leakage를 최소화하기 위해서 H, OH 전환율이 매우 높습니다.
TOC(Total organic carbon) 및 미량 Metal ion leakage의 관리를 엄격하게 하고 있습니다.
초순수 생산 공정
용도별
제품 선택 가이드
| 제품명 | Outlet condition | 용도 |
|---|---|---|
| UPRM100U | Guarantee) Resistivity > 17.0㏁∙cm (in 10min) Actual) Resistivity > 18.0㏁∙cm (in 10min) |
일반 전기전자 grade Final polisher |
| UPRM200U | Resistivity > 18.1㏁∙cm(in 30 min) △TOC < 5 ppb (in 120min) |
태양광, 디스플레이 grade Final polisher |
| UPRM300U | Resistivity > 18.2㏁∙cm(in 30 min) △TOC < 1 ppb (in 180min) |
디스플레이, 반도체 Grade Final polisher |
| UPRM400U | Resistivity > 18.2㏁∙cm(in 30 min) △TOC < 1 ppb (in 180min) Metal impurity (ppm, as Dry Base) Na<1, Fe<1, Zn<0.5, Al<0.5 |
반도체 Grade Final polisher |
| UPHR1 | Resistivity > 18.2㏁∙cm(in 24hr) △TOC < 1 ppb (in 24hr) |
반도체 grade 과산화수소 제거 |
| CLR-B3UP | Resistivity > 17.0㏁∙cm(in 48hr) △TOC < 5 ppb (in 48hr) |
반도체 grade 보론 제거 |
제품
| 제품명 | 제품 구분 | 정보 | TDS |
|---|
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